国家/地区 |
德国(5)![]() |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
B32(5)![]() |
IPC小类 |
B32B(5)![]() |
IPC |
C23C016/26(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(4) |
申请年 | 2013(3) |
专利权人 | INT BUSINESS.(3) |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G
BOL A A, CHANDRA B, KASRY A, MAAROUF A, MARTYNA G J, TULEVSKI G S
MCFEELY F R, YURKAS J J, OIDA S, HANNON J B