国家/地区 | 美国(4) 中国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
B32(4)![]() |
IPC小类 |
B32B(4)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(2) 2014(2) |
申请年 |
2013(4)![]() |
专利权人 |
OEZYILMAZ B, KAHYA O, OZYILMAZ B
SHIN H, CHOI J, HAN G, LEE Y
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H