国家/地区 | 美国(2) |
IPC部 |
B(2)![]() |
IPC大类 |
B32(2)![]() |
IPC小类 |
B32B(2)![]() |
IPC |
B32B003/00(2)
B32B009/00(2)
B32B009/04(2)
B32B015/20(2) C23F001/02(2) H01L021/02(2) H01L021/04(2) H01L021/324(2) |
发明人 |
MAAROUF A(2)![]() |
公开年 | 2015(2) |
申请年 |
2015(2)![]() |
专利权人 | EGYPT NANOTE.(2) INT BUSINESS.(2) |
AFZALIARDAKANI A, MAAROUF A, MARTYNA G J, SAENGER K