国家/地区 欧洲专利局(EPO)(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 B32(7)
IPC小类 B32B(7)
IPC C01B031/04(6) B32B009/00(5) C01B031/02(5)
B82Y030/00(4) C01B032/194(3) H01L051/00(3)
B82B003/00(2) B82Y010/00(2) B82Y040/00(2)
C01B031/00(2) C01B032/184(2) H01B001/04(2)
H01L029/16(2)
发明人
公开年 2011(2)
申请年 2011(2) 
专利权人