国家/地区 美国(6) 韩国(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 B(6)
IPC大类 B32(6)
IPC小类 B32B(6)
IPC C23C016/44(6)
发明人 CHOI J(3) CHOI J Y(2) HAN G(2)
LEE Y(2) SHIN H(2)
公开年 2011(3)
申请年 2010(3) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3) UNIV SUNGKYU.(2)