国家/地区 |
韩国(4)![]() |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
B32(4)![]() |
IPC小类 |
B32B(4)![]() |
IPC |
B32B009/00(3)
C01B031/04(3)
C23C016/26(3)
B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B031/02(2) C01B032/186(2) H01L021/205(2) H01L021/31(2) |
发明人 | |
公开年 | 2013(2) |
申请年 |
2013(4)![]() |
专利权人 |
SCHWAB M G, MUELLEN K, SACHDEV H, ITO Y, SCHWAB M G S, MILLEN K
HAN S H, KIM H K, YANG W S
SEACRIST M R, BERRY V, NGUYEN P T
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G