国家/地区 韩国(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 B32(4)
IPC小类 B32B(4)
IPC B32B009/00(3) C01B031/04(3) B32B037/00(2)
B32B038/00(2) C01B032/186(2) C01B032/194(2)
C23C016/26(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2016(3)
申请年 2015(4)
专利权人