国家/地区 |
日本(4)![]() |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
B32(4)![]() |
IPC小类 |
B32B(4)![]() |
IPC |
B32B009/00(4)
C23C016/26(4)
C01B031/02(3)
C01B031/04(3) B32B015/04(2) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B032/186(2) C23C014/06(2) H01L021/205(2) H01L021/31(2) |
发明人 | |
公开年 | 2013(3) |
申请年 |
2013(4)![]() |
专利权人 |
SCHWAB M G, MUELLEN K, SACHDEV H, ITO Y, SCHWAB M G S, MILLEN K
SEACRIST M R, BERRY V, NGUYEN P T
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G