国家/地区 日本(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 B32(4)
IPC小类 B32B(4)
IPC B32B009/00(4) C23C016/26(4) C01B031/02(3)
C01B031/04(3) B32B015/04(2) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) C01B032/186(2) C23C014/06(2)
H01L021/205(2) H01L021/31(2)
发明人
公开年 2013(3)
申请年 2013(4)
专利权人