国家/地区 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 B(2)
IPC大类 B82(2)
IPC小类 B82B(2)
IPC B82B001/00(2) B82B003/00(2) B82Y040/00(2)
C01B031/04(2) C23C016/26(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2012(2)
申请年
专利权人