国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(2)![]() |
IPC部 |
B(2)![]() |
IPC大类 |
B82(2)![]() |
IPC小类 |
B82B(2)![]() |
IPC |
B82B001/00(2)
B82B003/00(2)
B82Y040/00(2)
C01B031/04(2) C23C016/26(2) H01L029/16(2) |
发明人 | |
公开年 |
2012(2)![]() |
申请年 | |
专利权人 |
CHOI B, LEE E, WHANG D, CHOI B L, LEE E K, WHANG D M, CHOE P, HWANG T
ZENASNI A, CORAUX J, IVANOVAHRISTOVA V, LANDIS S, PERNEL C