国家/地区 日本(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 B82(4)
IPC小类 B82B(4)
IPC B82B003/00(4) C23C016/26(4) B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3) C01B031/02(3) C01B031/04(3)
B82B001/00(2) H01L029/16(2)
发明人 FAN F Y(2) FAN S(2) JIANG K(2)
LIN X(2) LIN X Y(2) XIAO L(2)
公开年 2012(4)
申请年 2011(3) 
专利权人 HON HAI PREC.(2) HONGFUJIN PR.(2) UNIV TSINGHU.(2)