国家/地区 |
日本(3)![]() |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 | C01(3) H01(3) |
IPC小类 |
C01B(3)![]() |
IPC |
C01B031/02(2)
H01B001/04(2)
H01L021/28(2)
H01L029/06(2) H01L029/40(2) H01L029/786(2) |
发明人 |
OKAI M(3)![]() |
公开年 | 2010(2) |
申请年 |
2010(3)![]() |
专利权人 | HITACHI LTD(3) OKAI M(2) |
OKAI M, HIROKA M, WADA Y, HIROOKA M