国家/地区 美国(5)
IPC部 B(5) C(5) H(4)
IPC大类 C01(5) B82(4) H01(4)
B01(2)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B031/04(5)
发明人
公开年 2013(2) 2014(2)
申请年 2012(5)
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)