国家/地区 台湾(4) 美国(3) 中国(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5) B82(4) B32(2)
C04(2) C23(2) H01(2)
IPC小类 C01B(5)
IPC B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B032/20(3)
C01B031/04(2) C04B035/583(2) C04B035/622(2)
C04B035/653(2) C23C014/06(2) H01L021/02(2)
发明人 LIN I(5) SUNG C(3) HU S C(2)
SONG J(2) YU C(2)
公开年 2018(2)
申请年 2016(2) 
专利权人 LIN I(5)