国家/地区 | 台湾(4) 美国(3) 中国(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)
B82(4)
B32(2)
C04(2) C23(2) H01(2) |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3)
C01B032/20(3)
C01B031/04(2) C04B035/583(2) C04B035/622(2) C04B035/653(2) C23C014/06(2) H01L021/02(2) |
发明人 |
LIN I(5)
SUNG C(3)
HU S C(2)
SONG J(2) YU C(2) |
公开年 | 2018(2) |
申请年 | 2016(2) |
专利权人 |
LIN I(5)![]() |
SUNG C, HU S C, LIN I, YU C
SUNG C, LIN I, LIN H, LIN Y, SONG J