国家/地区 台湾(3) 美国(3) 中国(2)
IPC部 B(4)
IPC大类 B82(4)
IPC小类 B82Y(4)
IPC B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B031/04(2)
C01B032/20(2) C04B035/583(2) C04B035/622(2)
C04B035/653(2) C23C014/06(2) H01L021/02(2)
发明人 LIN I(4) SUNG C(3) HU S C(2)
SONG J(2) YU C(2)
公开年
申请年
专利权人 LIN I(4)