国家/地区 美国(12) 中国(8) 日本(6) 韩国(5) 世界知识产权组织(5) 欧洲专利局(EPO)(4) 加拿大(2) 香港(2) 印度(2) 墨西哥(2) 台湾(2) 南非(2)
IPC部 C(13) B(11) H(11)
IPC大类 C01(13) B82(10) H01(10)
B01(5) B32(3) C09(3)
IPC小类 C01B(13)
IPC C01B031/00(13)
发明人 HIROHASHI T(2)
公开年 2012(13)
申请年 2012(13)
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)