国家/地区 中国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B032/16(3)
发明人 JOUVRAY A(2) TEO K B K(2)
公开年 2015(2)
申请年 2014(3) 
专利权人 AIXTRON SE(2)