国家/地区 日本(6)
IPC部 C(6) H(4) B(2)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C01B032/198(6)
发明人 KADOMA H(2) MOMMA H(2) OGUNI T(2)
SEO S(2) SEO T(2)
公开年 2013(2) 2018(2)
申请年 2017(3) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(4)