国家/地区 |
美国(5)![]() |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
C23C014/24(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2016(2) |
申请年 | |
专利权人 |
ZARETSKI A, LIPOMI D J
KIM D, CHOI S, HYEON T, KIM S, CHO H, CHO K, HONG C S, HWAN H T, HYEONG K D, JU K S, RIM C H, WON C G
KOBAYASHI T, SHIMIZU K, KADONO K, MIZUGUCHI Y, MURAKAMI Y, MIZUKUCHI Y, SUMINO K