国家/地区 |
美国(5)![]() |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
C23C016/00(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(2) |
申请年 | 2012(2) |
专利权人 |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H