| 国家/地区 | 中国(3) |
| IPC部 | C(3) |
| IPC大类 |
C01(3)
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| IPC小类 |
C01B(3)
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| IPC |
C23C016/02(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
ZHANG L, YE Q, WANG X, SHEN L
ZHANG J, BAI H, XIONG L, LUO J, CHEN G, JIANG D, HANG C
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