国家/地区 |
世界知识产权组织(4)![]() |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
B41(4)![]() |
IPC小类 |
B41M(4)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2015(2) |
申请年 | 2015(2) |
专利权人 |
HEISE S E, BEDWORTH P V, SWETT J L, SINTON S W
JOHNSON A T, GUDIBANDE R R, QI Z J, JOHNSON A, GUDIBANDE R, QI Z
HONG B H, CHOI J, KIM Y, KIM K S, KANG J, KIM H, CHOI J B