国家/地区 |
美国(4)![]() |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)
C23(4)
B82(3)
B05(2) B32(2) C09(2) C10(2) F16(2) |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(2) |
申请年 | 2013(2) |
专利权人 |
KALAGA M K, BHATTACHARYYA A, DEVI R M, SCHAEFFER J C, PARAKALA P, PABLA S S, SHEFFIELD J C, PALAKARA P, PABRA S S, CARAGA M K, DEVIE R M
SUMANT A V, ERDEMIR A, CHOI J, BERMAN D
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H