国家/地区 | 世界知识产权组织(4) 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)![]() |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2016(4) |
申请年 |
2015(4)![]() |
专利权人 |
BOINTON T H, BARNES M D, RUSSO S, CRACIUN M, HARDISTY BOINTON T
UEKUSA K, SHIMADA N, YAZAWA K, YAMADA T, HASEGAWA M, SHIMADA NAYUTA, YAZAWA KENJI, YAMADA TAKATOSHI, HASEGAWA MASATAKA, UEKUSA KAZUTERU
KIM D, CHOI S, HYEON T, KIM S, CHO H, CHO K, HONG C S, HWAN H T, HYEONG K D, JU K S, RIM C H, WON C G