国家/地区 日本(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C23C028/00(7)
发明人
公开年 2011(2)
申请年 2013(2) 
专利权人

KAZUOMI S, KAZUHIRO T, YASUHIRO Y, MAYUMI K, RYOTA Y, SATO K, TOKUNAGA K, YUZUHARA Y, KOSAKA M, YUGE R

BAE A H, SON S I, NAM J D, LEE J H, HWANG T S, OH J S, LEE H, EAH H B, SANG I S, JAE D N, JOON S O, JUN H L, TAE S H, HWANG T, LEE J, NAN J, PAE A, SUN S, OU J