国家/地区 |
中国(3)![]() |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C01(3)
H01(3)
C23(2)
|
IPC小类 |
C01B(3)![]() |
IPC |
H01L021/02(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(3) |
申请年 |
2020(3)![]() |
专利权人 |
SHERWOOD G J, NELSON J T, SU Q, BUHLMANN P P J, ZHEN X, KOESTER S J