国家/地区 中国(6) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(7)
IPC大类 C01(7) B82(4) H01(3)
B01(2) C04(2) C23(2)
IPC小类 C01B(7)
IPC B82Y030/00(4) B82Y040/00(3) C01B032/184(2)
C04B035/583(2) C04B035/622(2) C04B035/653(2)
C23C014/06(2) H01L021/02(2)
发明人 YU C(7)
公开年 2020(2) 2021(2)
申请年 2021(3) 
专利权人 YU C(3) HU S C(2) LIN I(2) SUNG C(2)