国家/地区 美国(3) 中国(2)
IPC部 B(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC C23C016/44(4)
发明人 NAGEL C J(3) BRODEUR C L(2)
公开年 2021(4)
申请年 2020(4)
专利权人 QUANTUM ELEM.(3)