国家/地区 韩国(3) 美国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(4)
IPC大类 C01(4) B01(3) C23(3)
H01(3) B82(2)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B031/02(3) C23C016/26(3) B01J019/08(2)
B82Y040/00(2) H01B001/04(2) H01L021/268(2)
发明人 LEE K(4)
公开年 2012(4)
申请年 2011(4) 
专利权人 KOREA ADV IN.(2)