国家/地区 | 日本(2) 美国(2) |
IPC部 |
B(2)![]() |
IPC大类 |
B82(2)![]() |
IPC小类 |
B82Y(2)![]() |
IPC |
B82Y040/00(2)
C01B031/02(2)
H01L029/06(2)
H01L029/16(2) H01L029/786(2) |
发明人 |
OKAI M(2)![]() |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 | HITACHI LTD(2) |
OKAI M, HIROOKA M, WADA Y, IWAI Y, HONMA S, ASHIGAHARA T, TAKAYUKI A, YOSHIAKI I, SHUNICHI H, HIROKA M, HOMMA S