国家/地区 日本(2) 美国(2)
IPC部 B(2)
IPC大类 B82(2)
IPC小类 B82Y(2)
IPC B82Y040/00(2) C01B031/02(2) H01L029/06(2)
H01L029/16(2) H01L029/786(2)
发明人 OKAI M(2)
公开年
申请年
专利权人 HITACHI LTD(2)