国家/地区 中国(19) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(21)
IPC大类 C01(21) H01(15) B82(5)
G01(2)
IPC小类 C01B(21)
IPC C01G053/00(21)
发明人 ZENG H(3) LIU Y(2) WANG J(2)
WANG Z(2) YAMAZAKI S(2) ZHANG K(2)
ZHANG Y(2) ZHOU Y(2)
公开年 2022(21)
申请年 2021(11)  2022(10) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)