国家/地区 日本（2） 韩国（2） 美国（2）
IPC部 C（2）
IPC大类 C01（2） C23（2）
IPC小类 C01B（2）
IPC C01B032/186（2）
发明人 MATSUMOTO T（2）
公开年
申请年
专利权人 TOKYO ELECTRON LTD（2）

Production of graphene used as wiring material, involves supplying carbon-containing gas and metal catalyst into chamber and reactivating catalyst by supplying process gas and carbon-containing gas to regrow graphene on catalyst surface.

IFUKU R, MATSUMOTO T

Manufacture of graphene for fabrication of electronic device, involves adsorbing molecule having six-membered ring structure onto surface of substrate, and irradiating surface using beam of molecules containing carbon atoms.

MATSUMOTO T