国家/地区 | 美国(4) 韩国(3) 世界知识产权组织(3) 日本(2) |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
B32(4)![]() |
IPC小类 |
B32B(4)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2009(2) |
申请年 |
2009(4)![]() |
专利权人 |
VEERASAMY V S, VEERASAMY V
AHN J, LEE J, LEE S, LEE W, LEE U, LEE J K, LEE S H, AHN J P, LEE S C, LEE W S
CECCO A, DRESSELHAUS M, KONG J, CECCO A R, DRESSELHAUS M S
SUEMITSU M, KONNO A, MIYAMOTO Y, MAKI S, ASSEUSI G, YU M