国家/地区 | 世界知识产权组织(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B32(3)![]() |
IPC小类 |
B32B(3)![]() |
IPC |
C23C016/26(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(2) |
申请年 |
2020(3)![]() |
专利权人 |
BURGGRAF J, JUERGEN B
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H