国家/地区 | 韩国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B32(3)![]() |
IPC小类 |
B32B(3)![]() |
IPC |
C23C016/26(3)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2021(3)![]() |
申请年 | 2020(2) |
专利权人 |
BURGGRAF J, JUERGEN B
GU T J, JANG W, SEO Y, WHANG D, WHANG D M, SEO Y M, JANG W S