国家/地区 日本(2) 美国(2)
IPC部 C(2)
IPC大类 C01(2) G06(2) H01(2)
H05(2)
IPC小类 C01B(2)
IPC C01B031/02(2)
发明人
公开年
申请年
专利权人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB(2)