国家/地区 美国(3) 中国(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C23C014/06(3)
发明人
公开年 2012(3)
申请年 2011(2) 
专利权人

HWANG C C, JUNG Y G, HWANG H N, JEONG J I, YANG J H, JUNG Y, JEONG J, YANG J, HWANG H, HWANG C, GUK H C, IN J J, HUN Y J, GYUN J Y, NA H H