国家/地区 | 日本(5) 中国(3) 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
C23C026/00(5)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2021(5)![]() |
申请年 | 2020(3) |
专利权人 |
YE N, KUBO T, SHIMIZU T
OKIKAWA Y, YAMADA T, HASEGAWA M
YOO H, KIM J, BAEK J, BYEON C, YOO H J, SU K J, BAEK J H, BYEON C S, BAI J, LIU H
JANSSON U, TIDEN S, TAHER M, DIAZ L, REMONEN T, JANSSEN U