国家/地区 | 中国(4) 美国(4) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(7)![]() |
IPC大类 |
C01(7)![]() |
IPC小类 |
C01B(7)![]() |
IPC |
C23C016/26(7)![]() |
发明人 | LEE Y T(2) |
公开年 | 2013(2) 2016(2) |
申请年 | 2013(2) 2016(2) |
专利权人 | LEE Y T(2) |
KALAGA M K, BHATTACHARYYA A, DEVI R M, SCHAEFFER J C, PARAKALA P, PABLA S S, SHEFFIELD J C, PALAKARA P, PABRA S S, CARAGA M K, DEVIE R M
SUMANT A V, ERDEMIR A, CHOI J, BERMAN D
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H