| 国家/地区 | 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
B(3)
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| IPC大类 |
B32(3)
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| IPC小类 |
B32B(3)
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| IPC |
C23C016/26(3)
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| 发明人 | CHOI J(2) |
| 公开年 |
2014(3)
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| 申请年 | |
| 专利权人 |
YIN Z, DU Z, ZHANG H, ZHU M
SHIN H, CHOI J, HAN G, LEE Y
