国家/地区 美国(5) 中国(4) 台湾(3)
IPC部 B(5)
IPC大类 B82(5)
IPC小类 B82Y(5)
IPC B82Y040/00(4) C01B031/04(4) B82Y030/00(3)
B32B009/04(2) C04B035/583(2) C04B035/622(2)
C04B035/653(2) C23C014/06(2) H01L021/02(2)
发明人 SUNG C(5) LIN I(3) SONG J(3)
HU S C(2) YU C(2)
公开年 2013(2)
申请年 2012(2) 
专利权人 SUNG C(5)