国家/地区 美国(6) 中国(5) 台湾(4)
IPC部 B(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC B82Y040/00(4) C01B031/04(4) B82Y030/00(3)
B32B009/04(2) B32B033/00(2) C01B021/064(2)
C01B031/02(2) C04B035/583(2) C04B035/622(2)
C04B035/653(2) C23C014/06(2) H01L021/02(2)
发明人 SUNG C(6) SONG J(4) LIN I(3)
HU S C(2) YU C(2)
公开年 2013(2)
申请年 2012(2) 
专利权人 SUNG C(6)