国家/地区 韩国(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 B01(4)
IPC小类 B01J(4)
IPC B01J019/08(4) C01B031/02(4) C23C016/26(4)
H01L021/268(2)
发明人 LEE K J(4)
公开年 2012(2) 2013(2)
申请年 2011(4)
专利权人 KOREA ADV IN.(4) KOREA ADVANC.(2)