国家/地区 | 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
C01(3)![]() |
IPC小类 |
C01B(3)![]() |
IPC |
C23C014/18(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2017(2) |
申请年 |
2016(3)![]() |
专利权人 |
ZARETSKI A, LIPOMI D J, SAVTCHENKO A, MOLOKANOVA E, MERCOLA M
YU Y, HU Y, SUN T, YANG J, WEI D, SHI H, DU C