国家/地区 | 中国(3) |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C01(3)![]() |
IPC小类 |
C01B(3)![]() |
IPC |
C23C014/18(3)![]() |
发明人 | LI Z(2) |
公开年 | 2021(3) |
申请年 |
2021(3)![]() |
专利权人 |
LIU D, WANG J, SHENG H, LI Z, ZHU Y, LV G