国家/地区 美国(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2)
IPC部 B(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC C23C014/28(4)
发明人
公开年 2022(2)
申请年 2022(2) 
专利权人