国家/地区 中国(2) 韩国(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C23C016/26(3)
发明人
公开年 2012(3)
申请年 2011(2) 
专利权人

JOO I L, CHAN Y H, KWONJAE Y, JUNG H K, YONG S Y, YONG H S, GEUN W L