国家/地区 美国(4) 韩国(3) 日本(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(4)
IPC大类 B32(4)
IPC小类 B32B(4)
IPC C23C016/26(4) B32B009/00(3) C01B031/02(3)
C01B031/04(3) B82Y030/00(2) C01B031/00(2)
C23C016/02(2) C23C016/56(2) H01L021/205(2)
发明人
公开年 2009(4)
申请年 2008(2)  2009(2) 
专利权人