国家/地区 美国(7) 中国(4) 世界知识产权组织(4) 韩国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8) H01(8) B01(2)
IPC小类 C01B(8)
IPC C01B032/23(8)
发明人 MIWA T(2)
公开年 2017(8)
申请年 2016(5)  2017(3) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)