国家/地区 日本(2)
IPC部 C(3) H(2)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B032/186(3) C23C016/26(2) C30B025/18(2)
C30B029/02(2) C30B029/64(2)
发明人
公开年 2023(3)
申请年 2021(3)
专利权人