国家/地区 韩国(3) 美国(3)
IPC部 C(3) H(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B032/186(2) C23C016/26(2) H01L021/285(2)
H01L021/768(2)
发明人 LEE C S(3)
公开年 2023(3)
申请年 2022(3)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)